薄膜片廣泛應(yīng)用于燃料電池、半導(dǎo)體、環(huán)保過濾、生物醫(yī)學(xué)等多個(gè)領(lǐng)域，其流通性直接關(guān)聯(lián)終端產(chǎn)品的核心性能與運(yùn)行可靠性。流通性測(cè)試的核心的是精準(zhǔn)調(diào)控與測(cè)量氣體透過量，穩(wěn)定維持測(cè)試工況，同時(shí)適配不同材質(zhì)、厚度薄膜片的測(cè)試需求，這對(duì)流量控制與測(cè)量設(shè)備的精度、穩(wěn)定性及場(chǎng)景適配性提出較高要求。陜西易度基于層流壓差核心技術(shù)研發(fā)的質(zhì)量流量計(jì)與質(zhì)量流量控制器，憑借獨(dú)特技術(shù)特性，在各類薄膜片流通性測(cè)試中形成高效支撐，為測(cè)試數(shù)據(jù)的可靠性與測(cè)試流程的高效性提供保障。

        層流壓差式MFM與MFC的核心工作邏輯，是依托哈根-泊肅葉定律，通過內(nèi)置精密層流元件強(qiáng)制氣體形成穩(wěn)定層流狀態(tài)，利用高靈敏度壓差傳感器捕捉層流元件兩端壓力差，結(jié)合內(nèi)置溫度與壓力傳感器的實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)補(bǔ)償，實(shí)現(xiàn)氣體質(zhì)量流量的精準(zhǔn)測(cè)量與閉環(huán)控制。與傳統(tǒng)熱式設(shè)備依賴氣體熱物理性質(zhì)間接測(cè)量不同，該技術(shù)基于流體粘性流動(dòng)的固有物理特性，受氣體組分、環(huán)境溫度波動(dòng)等干擾因素的影響更小，這一特性使其天然適配薄膜片流通性測(cè)試中多介質(zhì)、寬工況的應(yīng)用需求。陜西易度通過優(yōu)化層流元件結(jié)構(gòu)與補(bǔ)償算法，進(jìn)一步提升產(chǎn)品性能，測(cè)量精度可達(dá)±0.5%讀數(shù)，重復(fù)精度達(dá)±0.1%F.S.，量程覆蓋0.1sccm至5000slpm，可滿足從實(shí)驗(yàn)室研發(fā)到工業(yè)批量檢測(cè)的全場(chǎng)景需求。

        半導(dǎo)體領(lǐng)域的光刻膠薄膜、鈍化層薄膜流通性測(cè)試，對(duì)設(shè)備的響應(yīng)速度與環(huán)境耐受性要求更為嚴(yán)苛。這類薄膜片厚度極薄、結(jié)構(gòu)精密，氣體流量的微小延遲或波動(dòng)可能導(dǎo)致測(cè)試數(shù)據(jù)失真，影響芯片后續(xù)制程的良率。陜西易度層流壓差式MFC響應(yīng)時(shí)間低至毫秒級(jí)，開機(jī)無需長(zhǎng)時(shí)間預(yù)熱，能快速追蹤流量設(shè)定點(diǎn)變化并穩(wěn)定達(dá)標(biāo)，精準(zhǔn)捕捉薄膜片的瞬時(shí)氣體透過特性；流道采用不銹鋼材質(zhì)與金屬密封設(shè)計(jì)，可耐受半導(dǎo)體測(cè)試環(huán)境中的腐蝕性氣體，在寬溫域環(huán)境下保持穩(wěn)定運(yùn)行，解決部分設(shè)備在工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)適應(yīng)性不足的痛點(diǎn)，已在國產(chǎn)半導(dǎo)體薄膜測(cè)試平臺(tái)中批量應(yīng)用。

        環(huán)保過濾膜、生物醫(yī)學(xué)透氣膜等民用薄膜片的流通性測(cè)試中，層流壓差式設(shè)備的寬量程與便捷性優(yōu)勢(shì)尤為突出。這類測(cè)試常涉及空氣、惰性氣體等多種介質(zhì)，流量范圍跨度大，且部分場(chǎng)景需現(xiàn)場(chǎng)移動(dòng)測(cè)試。陜西易度層流壓差式MFM量程覆蓋廣，單臺(tái)設(shè)備即可滿足從微小流量到高流速的測(cè)試需求，減少設(shè)備配置復(fù)雜度；便攜式型號(hào)內(nèi)置電池支持長(zhǎng)時(shí)間續(xù)航，搭配觸控屏可實(shí)時(shí)顯示流量、溫度、壓力等核心參數(shù)，方便測(cè)試人員直觀掌控進(jìn)程，提升現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試的靈活性。其穩(wěn)定性能已通過相關(guān)行業(yè)認(rèn)證，適合環(huán)保過濾膜批量檢測(cè)、生物透氣膜研發(fā)等場(chǎng)景的應(yīng)用。

        相較于傳統(tǒng)流量設(shè)備，陜西易度層流壓差式MFM/MFC在薄膜片流通性測(cè)試中具備多項(xiàng)差異化優(yōu)勢(shì)。低壓損設(shè)計(jì)可降低對(duì)上游氣源的壓力要求，減少測(cè)試氣體壓力對(duì)薄膜片結(jié)構(gòu)的干擾，更貼近實(shí)際應(yīng)用工況；混合氣體比例自主編輯功能，可適配多組分氣體測(cè)試場(chǎng)景，為新型復(fù)合薄膜片的流通性研究提供靈活支持；數(shù)字與模擬雙重通訊接口，能無縫融入自動(dòng)化測(cè)試系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)測(cè)試數(shù)據(jù)的自動(dòng)記錄、分析與追溯，提升測(cè)試流程的智能化水平。同時(shí)，相較于進(jìn)口設(shè)備，其具備更高的性價(jià)比與更快捷的本地化技術(shù)支持，大幅降低測(cè)試環(huán)節(jié)的設(shè)備投入與運(yùn)維成本。

        隨著薄膜材料技術(shù)的迭代升級(jí)，各類新型薄膜片不斷涌現(xiàn)，流通性測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)也持續(xù)完善。層流壓差式MFM/MFC作為測(cè)試過程中的核心感知與控制設(shè)備，其性能直接影響測(cè)試結(jié)果的科學(xué)性。陜西易度憑借對(duì)層流壓差技術(shù)的深度打磨與場(chǎng)景化優(yōu)化，其系列產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于多家科研機(jī)構(gòu)與生產(chǎn)企業(yè)的薄膜片測(cè)試場(chǎng)景。未來，隨著技術(shù)的進(jìn)一步升級(jí)，這類具備高精準(zhǔn)度、強(qiáng)適配性的國產(chǎn)流量設(shè)備，將持續(xù)賦能薄膜材料的研發(fā)與質(zhì)量管控，為各應(yīng)用領(lǐng)域的技術(shù)升級(jí)提供堅(jiān)實(shí)支撐。